单晶圆清洗机

产品中心

首页  >   产品中心  >   在线PCBA基板清洗机  >   单晶圆清洗机  >  

单晶圆清洗机

1.设备支持8英寸与12英寸晶圆，切换时只需更换FOUP适配器，无需复杂调整，操作便捷高效，大幅提升生产线的灵活性和切换速度。

2.配备气动高压Pump，压力输出可根据制程需求调整至60-200KG/CM²，结合高压喷头，有效提升清洗效率，适应不同的清洗工艺。

3.二流体系统的压力控制在5KG/CM²以内，确保清洗过程中压力的精准调节，避免对晶片造成损伤，同时提高清洗效果。

4.设备配有不锈钢材质的清洗液加热供应槽，最高控制温度可达95°C，确保清洗液在高温下保持最佳的溶解和去除效果，提升清洗效率。

5.Spin chuck具备高速、平稳及抗静电功能，最高转速达到3000 rpm，确保晶片在旋转过程中稳定高效清洗，同时避免静电积累对晶片的影响。

6.通过选择合适的化学品、喷头及程序控制，显著增强对晶片底部间隙的清洗能力，确保全面的去除残留物，提升清洗质量。

7.Semi-close腔体设计优化了排气性能，确保设备在运行时达到最佳的抽气状态，减少化学品挥发并维持良好的洁净环境。

在线询价
产品介绍
该设备支持8英寸与12英寸晶圆，机台切换只需更换FOUP适配器。具备多功能特性，可根据不同应用需求集成多种清洗功能，如高速离心旋转、HPC高压清洗、二流体清洗、毛刷清洗、SC1化学清洗，并支持加装兆声波功能，满足多样制程需求。
本机特别适用于颗粒清洗、助焊剂清洗及光阻残留清洗等工艺。腔体采用流场模拟设计，并配有独特的密封结构，确保在清洗过程中为晶圆提供最洁净的环境。
简洁直观的软件界面为量产与工程制程提供安全便捷的操作体验，有效提升生产效率和稳定性。
产品参数

公司服务

技术和备件维修供应的经验和技术基础

  • 深圳市旻飞科技有限公司是半导体封装和SMT行业销售和服务的整体方案解决商,我们拥有行业知名SMT设备品牌，如贴片机K&S(Assembleon) ，ASM，回流焊，选择性波峰焊Ersa， 思泰克3D AOI/SPI，在线式基板清洗等设备的代理销售和售后服务。我们有丰富的技术和备件维修供应的经验和技术基础。
  • 深圳市旻飞科技有限公司是提供客户自动化设备解决方案，可以根据客户需求定制自动化设备。包括以loader/unloader为核心的自动化生产线传输设备。同时也提供设计的相关治具夹具产品。我们也专注于SMT封装贴装机器的技术售后服务，包括K&S和ASM贴片机一系列高端机器的技术服务和客户定制零配件。以及整线打包服务，驻厂服务。

相关产品
X射线检测设备 AX9100MAX

X射线检测设备 AX9100MAX
KYZEN SLV901

KYZEN SLV901
AQUANOX 2K100

AQUANOX 2K100
InSPIre-630 在线型高速三维锡膏检测系统

InSPIre-630 在线型高速三维锡膏检测系统
单晶圆涂胶机

单晶圆涂胶机
智能吸嘴清洗检测一体机

智能吸嘴清洗检测一体机
售后服务

非标定制

+86 18675509369

品牌正品

产品中心
回流焊波峰焊焊接设备
光学检测设备AOI/SPI
X-ray工业无损检测设备
SMT清洗设备
在线PCBA基板清洗机
清洗剂
解决方案
K&S 贴片机技术维修和备件
ASM贴片机技术维修和备件
SMT生产线技术服务和备件
关于旻飞
新闻资讯
行业动态
展会资讯
联系我们
订阅我们的时事通讯：
电话:0755-27124066 手机：+86 18675509369
传真：0755-27124066
E-mail : liurc@minflytech.com
地址：广东省深圳市光明区炮台路48号创新云谷f栋3层
Copyright © 2025 深圳市旻飞科技有限公司 版权所有 粤ICP备2025459464号-1
Sitemap