全自动FOUP清洗机

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全自动FOUP清洗机

1.每个清洗腔体都为独立密封设计，确保清洗效果更加彻底，有效提高FOUP内部的洁净度，避免外部污染物的干扰。每个腔体可独立运行，方便灵活，确保不同任务之间互不干扰，提高生产效率。

2.设备集成N2填充系统和FOUP内部温湿度检测功能，能够持续监控并调节环境条件，防止清洗后出现二次污染。

3.配备先进的真空抽湿技术，确保清洗后FOUP的湿度达到极低水平，满足半导体行业对湿度控制的严苛要求。

4.自动Load Port设计与E84传感器结合，确保与OHT（自动传送系统）对接时的稳定性和高效性，提高整个生产流程的自动化水平。

5.可选配Slot Mapping系统，实时监控FOUP内部，检测未取出的晶圆片和可能存在的晶圆碎片，确保生产的安全性和准确性。

6.设备采用工控机与PLC相结合的控制方式，操作简便直观，完全支持SECS/GEM通信协议，适应现代半导体生产线的智能化需求。


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产品介绍
全自动FOUP清洗机专为12英寸FOUP/FOSB颗粒和金属离子清洗设计，广泛适用于半导体行业。设备配备多级精密过滤系统，能够有效保障清洁度，满足Class 10/100的洁净等级要求，确保符合严格的生产制程需求。
采用多种喷淋清洗工艺，清洗过程可实现360°无死角覆盖，提供高精度的清洁效果，确保FOUP/FOSB表面完全洁净。设备还配有高效真空干燥系统，大大提升清洗效率，并能够满足低湿度环境的要求，同时实现湿度的实时监控（可选配置）。
- 支持EAP/MES/FDC主流通讯协议，SECS/GEM200/300.
- 支持OHT/PGV/AGV设备对接.
- 符合SEMI S2、CE半导体制造标准及认证
产品参数

公司服务

技术和备件维修供应的经验和技术基础

  • 深圳市旻飞科技有限公司是半导体封装和SMT行业销售和服务的整体方案解决商,我们拥有行业知名SMT设备品牌，如贴片机K&S(Assembleon) ，ASM，回流焊，选择性波峰焊Ersa， 思泰克3D AOI/SPI，在线式基板清洗等设备的代理销售和售后服务。我们有丰富的技术和备件维修供应的经验和技术基础。
  • 深圳市旻飞科技有限公司是提供客户自动化设备解决方案，可以根据客户需求定制自动化设备。包括以loader/unloader为核心的自动化生产线传输设备。同时也提供设计的相关治具夹具产品。我们也专注于SMT封装贴装机器的技术售后服务，包括K&S和ASM贴片机一系列高端机器的技术服务和客户定制零配件。以及整线打包服务，驻厂服务。

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