单晶圆涂胶机

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单晶圆涂胶机

1.兼顾清洗，旋涂，烘干，有效保证制程一致性和良率。

2.高速旋涂通过Recipe精细控制每一段转速，有效保证涂布均匀性。

3.多点升温均热板台，有效保证烘干平稳一致加温。

4.自动Load Port和主流E84传感器，对接OHT天车，稳定、高效。

5.人性化的操作界面，便于作业员直观且快速上手操作机台。

6.各腔体可单独控制运行，互不干涉。


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产品介绍
适用于6”/8”/12"光刻胶旋涂、匀胶、固化制程。
设备配备多级精密过滤系统，有效保证涂布前硅片的清洁。
Spin Chuck最大转数5000RPM，Recipe最多可设置21段，有效保证匀胶的均匀性。
多点升温均热板台，有效保证烘干温度均匀性，避免局部温差导致不良发生。
支持EAP/MES/AMHS主流通讯协议，SECS/GEM200/300支持OHT/PGV/AGV设备对接符合SEMIS2、CE半导体制造标准及认证。

主要用于清洗6”、8”和12”晶圆涂胶工艺，包括AP/AT液体涂布，兼顾清洗和烘烤功能，最多可配置四套Load Port(12" FOUP与8"&6" Cassette)满足OHT/AGV自动上下料或手动上下料，设备内配置两套传送Robot（Front Robot 和 Process Robot）、三套Spin chamber及预留空间、一套缓存器Max. 8 Slots、一套均热板台Max. 3 Slots
产品参数

公司服务

技术和备件维修供应的经验和技术基础

  • 深圳市旻飞科技有限公司是半导体封装和SMT行业销售和服务的整体方案解决商,我们拥有行业知名SMT设备品牌，如贴片机K&S(Assembleon) ，ASM，回流焊，选择性波峰焊Ersa， 思泰克3D AOI/SPI，在线式基板清洗等设备的代理销售和售后服务。我们有丰富的技术和备件维修供应的经验和技术基础。
  • 深圳市旻飞科技有限公司是提供客户自动化设备解决方案，可以根据客户需求定制自动化设备。包括以loader/unloader为核心的自动化生产线传输设备。同时也提供设计的相关治具夹具产品。我们也专注于SMT封装贴装机器的技术售后服务，包括K&S和ASM贴片机一系列高端机器的技术服务和客户定制零配件。以及整线打包服务，驻厂服务。

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